高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析  

High g Value Acceleration Sensor Calibration Uncertainty and Error Analysis

作　　者：王艳阳[1,2,3] 石云波[1,2,3] 王华[1,2,3] 康强[1,2,3] 杨志才[1,2,3] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051 [2]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 [3]中北大学仪器与电子学院,太原030051

出　　处：《传感技术学报》2016年第7期971-976,共6页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金杰出青年项目(51225504)

摘　　要：总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定,得到了传感器的参考灵敏度。Summarizes the hopkinson bar calibration uncertainty in the process of MEMS acceleration sensor of high range,error source and effect. Through the experimental equipment of all aspects of the error and uncertainty analysis research,get the uncertainty of experimental equipment was 1.7%,and analyzes the two types of calibration results. On the basis of the experiment in laboratory from the research on the calibration of sensor,the sensor sensitivity of reference.

关 键 词：MEMS 高量程 差动式激光干涉仪 高g值加速度计 不确定度 误差分析 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]