制备工艺对扩散连接材料Cu表面质量的影响  

Effect of Diffusion Bonding Process on Cu Surface

作　　者：魏成富[1,2] 陈丽[2,3,4] 邢丕峰[2] 唐杰[1] 杨蒙生[3] 蒋斌[2,3] 

机构地区：[1]绵阳师范学院化学与化学工程学院,绵阳621000 [2]西华大学材料学院,成都610039 [3]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900 [4]中国核工业第二二建设有限公司,宜昌443101

出　　处：《材料导报（纳米与新材料专辑）》2016年第1期142-144,共3页

基　　金：中物院超精密加工技术重点实验室资助(KF13003);四川省科技厅资助项目(2012SZZ025;2011SZZ029;2013SZZ024);四川省教育厅资助项目(12ZB260;14ZA0253);绵阳市科技局资助项目(12J005);绵阳师范学院资助项目(QD2013A01)

摘　　要：精密零部件进行真空扩散连接时,主要的扩散工艺参数对材料表面质量会有重要影响。以镜面无氧铜(Cu)为对象,改变保温温度和保温时间分别研究了这些因素对其表面质量的影响。结果表明,若保温时间均为60min,则加热温度越高,其表面晶界越清晰,且粗糙度亦有不同程度增加,而当加热温度达到800℃,其晶粒粗化,部分大晶粒内部出现孪晶和滑移带,表面粗糙度增加了11.2nm。此外,若将加热温度控制为450℃,则保温时间越长,表面粗糙度越大,但当保温时间超过180min后,表面粗糙度的增加量开始减小,然而最终会趋于稳定,为4.0nm左右。There are some important effects of processing technology on surface of the diffusion material in precision parts.So these effects were researched,and the diffusion material was copper.It was indicated if duration is 60 min,there are higher temperature,there are more distinct interface and roughness.On the other hand,crystal particle which have twin crystal and slip band,is roughening at 800℃.What′s more,its roughness increases 11.2nm.In addition,there more roughness if duration is longer at 450 ℃.But if duration exceeds 180 min,the value of roughness increment is reduced.In the end,it is about 4.0nm and almost steady.

关 键 词：扩散连接 镜面Cu 表面粗糙度 加热温度 保温时间 

分 类 号：TG156[金属学及工艺—热处理]