全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2016年会在重庆召开  

出　　处：《微纳电子技术》2017年第1期72-72,F0003,共2页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2016年10月25-28日在重庆市召开，来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外微光刻领域的专家及技术人员近130人参加了本次会议。会议承办方中国科学院重庆绿色智能技术研究院袁家虎院长致辞，欢迎来自国内外专家参加本次微光刻交流会。微光刻分技术委员会秘书长陈宝钦研究员转达全国半导体设备和材料标准化技术委员会领导及总会秘书处对本会的祝贺，并感谢一年来微光刻分技术委员会委员和代表们的努力和奉献。

关 键 词：标准化技术委员会 半导体设备 技术交流会 微光刻 重庆市 材料 年会 中国科学院 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]