微光刻

作品数：48被引量：71H指数：4
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微光刻材料标准化研究
《信息技术与标准化》2023年第12期85-88,共4页张子晴 王一刚 
为充分发挥好标准支撑、规范、引领产业发展的作用,开展微光刻材料标准的梳理分析工作,对国内现有微光刻材料标准按基础通用、产品、方法进行分类,详细介绍相关标准的具体内容、使用范围等方面,并与国外相关标准进行对比,综合分析我国...
关键词：微光刻材料 掩模 抗蚀剂 标准化 
高集成度复杂光刻版版图的快速巡查与修正技术
《电子工业专用设备》2023年第5期29-35,共7页黄翔宇 纪宝林 马协力 
介绍了一种高集成度复杂光刻版版图的快速巡查与自动修正技术。其主要包括线条修复模块、逻辑处理模块和图形巡查模块。通过对L-edit软件嵌入式程序开发,实现版图中关键图形和易错位置的快速巡查与自动修正处理,大幅提高了先进掩模制造...
关键词：微光刻 光刻版 高集成度 快速巡查 自动修正 
高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术被引量：1
《电子技术应用》2022年第9期67-69,74,共4页黄翔宇 马协力 金焱骅 
介绍了一种高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术。其中包括以下四个模块:chip芯片排布模块、标记排布模块、芯粒数统计模块和自动版号模块。在版图编辑工具L-edit中使用这些模块可以大幅提升微光刻中的高集成度多标记光刻版版图的...
关键词：微光刻 高集成度 快速排布 光刻版 
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第九届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2019年会在长春召开
《微纳电子技术》2019年第11期939-939,共1页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第九届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2019年9月8-12日在长春市召开,来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外86家单位微光刻领域的专家及技术人...
关键词：微光刻技术 最新研究成果 标准化技术委员会 半导体 技术人员 
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第八届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2018年会在上海召开
《微纳电子技术》2018年第12期932-932,共1页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第八届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2018年10月9-12日在上海召开,来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外88家单位微光刻领域的专家及技术人员...
关键词：标准化技术委员会 半导体设备 技术交流会 微光刻 材料 上海 年会 中国科学院 
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第七届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2017年年会在嘉兴召开
《微纳电子技术》2017年第12期872-872,共1页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第七届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2017年10月25—28日在嘉兴市召开,会议由嘉兴科民电子设备技术有限公司承办。来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的...
关键词：标准化技术委员会 微光刻 
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2016年会在重庆召开
《微纳电子技术》2017年第1期72-72,F0003,共2页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2016年10月25-28日在重庆市召开，来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外微光刻领域的专家及技术人员近13...
关键词：标准化技术委员会 半导体设备 技术交流会 微光刻 重庆市 材料 年会 中国科学院 
微光刻与微加工技术工艺流程研究被引量：2
《实验室研究与探索》2015年第12期13-15,共3页郭党委 冯娟娟 席力 
国家自然科学基金项目(51202102);教育部CERS项目
随着半导体制造工业的迅速发展,微光刻与微加工技术作为其"核心工艺"已经成为目前高校科学研究和工业研发的一个热门领域。它主要包括图形数据处理技术、图形曝光技术和图形加工技术。介绍了微光刻与微加工技术的基本工艺流程,讨论和分...
关键词：微光刻与微加工 工艺参数 涂胶 曝光 刻蚀和剥离 
微光刻领域的标准化及学术交流
《微纳电子技术》2015年第2期136-136,共1页
全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会是在中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会领导下,在全国半导体设备和材料技术领域从事微光刻标准化工作的组织。全国半导体设备和材料标准化技术...
关键词：半导体设备 技术委员会 标准化工作 学术交流 光刻技术 技术组织 标准制定工作 行业标准 技术标准化 微纳米 
2014年第四届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会圆满闭幕
《微纳电子技术》2014年第11期752-752,共1页
10月29—31日，“2014年第四届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会”在上海举办。会议由复旦大学信息科学与工程学院纳米光刻与应用研究中心（FUNARC）承办，同时得到了捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司（JEOL Shanghai Semicon...
关键词：技术委员会 技术交流会 微光刻 年会 LTD 纳米光刻 工程学院 信息科学 
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