全国半导体设备和材料标准化技术委员会第七届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2017年年会在嘉兴召开  

出　　处：《微纳电子技术》2017年第12期872-872,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：全国半导体设备和材料标准化技术委员会第七届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2017年10月25—28日在嘉兴市召开,会议由嘉兴科民电子设备技术有限公司承办。来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外微光刻领域的专家及技术人员约160人参加了本次会议。

关 键 词：标准化技术委员会 微光刻 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]