C12A7电子化合物·溅镀靶材  

作　　者：渡边晓 伊藤和弘 官川直通 周叶萱 

出　　处：《中国玻璃》2017年第1期47-48,共2页China Glass

摘　　要：1前言 C12A7电子化合物是由钙和铝构成的氧化物结晶，表示各种各样电子机能的新氧化物半导体。而且，利用制造一般玻璃时使用的熔融淬火法，也可以看出能够制造出玻璃状态的C12A7电子化合物。

关 键 词：电子化合物 溅镀靶材 氧化物半导体 淬火法 玻璃 制造 熔融 

分 类 号：TQ59[化学工程—精细化工]