Entegris发布高纯度气体纯化系统平台  

机构地区：[1]entegris

出　　处：《中国集成电路》2017年第3期34-34,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：Entegris近日宣布引进新的先进气体纯化平台，以提高半导体和LED应用的晶圆良率。新系列GateKeeper气体纯化系统（GPS）采用新的纯化介质，可在各种流量下提供一流的气体纯度，且设备占用空间更少。

关 键 词：高纯度气体 纯化系统 平台 GATEKEEPER 气体纯化 纯化介质 气体纯度 占用空间 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]