一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计  

Fuzzy and robust design for a MEMS capacitive pressure sensor

作　　者：康杰[1] 谭晓兰[1] 张久超[1] 

机构地区：[1]北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144

出　　处：《机械设计》2017年第3期77-80,共4页Journal of Machine Design

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51375017)

摘　　要：通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进行稳健设计。对结果分析表明,稳健设计结果对噪声因素的误差是不敏感的。The mathematical model based on the fuzzy model was established through the analysis of micro capacitive pressure sensor structure.The relative algorithm was developed to robust design the micro capacitive pressure sensor.The results showed that the robust design were not sensitive to the error in the robust design result.

关 键 词：模糊模型 稳健设计 微传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH122[自动化与计算机技术—控制科学与工程]