SBA-15薄膜修饰QCM湿度传感器的三维有限元建模与仿真  

作　　者：张燕[1,2] 王生钊[1] 祝烨[3] 张杰[3] 刘忠超[1] 

机构地区：[1]南阳理工学院,河南省南阳市473004 [2]上海交通大学,上海市210000 [3]上海大学,上海市200444

出　　处：《电子技术与软件工程》2017年第10期127-128,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

基　　金：2017年度河南省科技攻关项目"基于SBA-15的石英晶体谐振型湿度传感器优化设计与测试分析"(项目编号:172102210418);2016年度河南省高等学校重点科研项目"声表面波传感器的无源温度补偿及多物理场耦合模型研究"(项目编号:16A510021)的经费支持

摘　　要：本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真,分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响,为纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了重要的理论参考依据。

关 键 词：SBA-15 有序介孔硅 湿敏薄膜 QCM湿度传感器 三维有限元 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]