祝烨

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：上海大学更多>>
发文主题：SBA-15QCM湿度传感器三维有限元苯乙胺更多>>
发文领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《南阳理工学院学报》《电子技术与软件工程》更多>>
所获基金：河南省科技攻关计划更多>>
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SBA-15纳米薄膜对QCM湿度传感器的性能影响被引量：1
《南阳理工学院学报》2017年第4期114-118,共5页张燕 王生钊 祝烨 张杰 刘忠超 
2017年度河南省科技攻关项目(172102210418);2016年度河南省高等学校重点科研项目(16A510021)
孔道表面具有丰富Si-OH的有序介孔氧化硅材料SBA-15薄膜修饰QCM可大幅度提升湿度传感器的灵敏度、响应速度及检测限。本文建立了基于SBA-15的QCM湿度传感器的三维有限元精确仿真模型,分析了纳米湿敏薄膜在电极上的分布状况对传感器的电...
关键词：SBA-15 有序介孔硅 湿敏薄膜 QCM 湿度传感器 三维有限元 
SBA-15薄膜修饰QCM湿度传感器的三维有限元建模与仿真
《电子技术与软件工程》2017年第10期127-128,共2页张燕 王生钊 祝烨 张杰 刘忠超 
2017年度河南省科技攻关项目"基于SBA-15的石英晶体谐振型湿度传感器优化设计与测试分析"(项目编号:172102210418);2016年度河南省高等学校重点科研项目"声表面波传感器的无源温度补偿及多物理场耦合模型研究"(项目编号:16A510021)的经费支持
本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真,分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响,为纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了...
关键词：SBA-15 有序介孔硅 湿敏薄膜 QCM湿度传感器 三维有限元 
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