昭和电工和SK公司组建合资企业生产特种气体  

作　　者：于剑昆 

出　　处：《化学推进剂与高分子材料》2017年第3期95-95,共1页Chemical Propellants & Polymeric Materials

摘　　要：昭和电工和SK集团旗下的SK材料公司（首尔，韩国）已签署协议组建合资公司在韩国生产和销售单氟甲烷气（CH3F）。单氟甲烷，作为特种气体被用于制造半导体芯片。其主要应用是制造半导体记忆芯片，包括需要使用微机械加工技术的NAND闪存和动态随机访问存储器。

关 键 词：特种气体 企业生产 昭和电工 合资公司 SK公司 微机械加工技术 半导体芯片 NAND闪存 

分 类 号：TQ117[化学工程—无机化工]