台积电南京厂明年开始正式量产 将引进16nm工艺  

出　　处：《半导体信息》2017年第2期38-39,共2页Semiconductor Information

摘　　要：据报导，台积电南京有限公司总经理罗镇球日前在ICMC2017上表示，台积电7纳米制程预计2017年下半将为客户tape—out生产。此外，他还透露，现阶段EUV最新曝光机台在台积电已经可以达到连续3天，稳定处理超过1，500片12时晶圆的状态。根据时程，台积电南京厂预计2017下半年就要安装生产机台，2018上半年试产，2018下半年正式投入量产。

关 键 词：台积电 南京 工艺 TAPE 纳米制程 稳定处理 总经理 EUV 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]