多晶硅生产方法探讨及展望  

作　　者：佟宝山 

机构地区：[1]天津渤化集团规划设计院,天津300193

出　　处：《天津化工》2017年第3期6-9,共4页Tianjin Chemical Industry

摘　　要：多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。目前主要生产方法有改良西门子法、硅烷法、流化床法。多晶硅产品的主要用途有二种:一种是用于制备太阳能电池;另一种是用于集成电路。

关 键 词：多晶硅 改良西门子法 硅烷法 流化床法 尾气干法回收 氢气膜分离回收 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]