基于计算机技术的光刻设备数据采集分析系统  

作　　者：尤新勇 刘克新 李翰 

机构地区：[1]株洲中车时代电气股份有限公司半导体事业部,湖南株洲412001 [2]四川南光真空科技有限公司,四川成都610000

出　　处：《设备管理与维修》2017年第6期85-86,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：一种基于光刻设备控制信号变化的设备综合效率(OEE)分析软件。通过MCGS组态软件与设备PLC的实时数据交换,实现设备运行效率统计,易损件(汞灯)寿命统计和设备维护提示等功能。对于提升用户的资产运营水平和制造厂家的设备自动化能力有一定作用,且可以简单推广到类似设备系统。

关 键 词：光刻 运行数据 自动统计 易损件 寿命 

分 类 号：TP27[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]