溶胶凝胶法制备透明导电ZnO:Al薄膜的研究  

作　　者：罗鹏[1,2] 朱光[1,2] 

机构地区：[1]宿州学院自旋电子与纳米材料安徽省重点实验室,宿州234000 [2]宿州学院机械与电子工程学院,宿州234000

出　　处：《宿州学院学报》2017年第5期110-113,共4页Journal of Suzhou University

基　　金：宿州学院自旋电子与纳米材料安徽省重点实验室开放课题资助"静电纺丝制备TiO2/ZnO壳核结构及其在光伏器件的应用"(2014YKF50)

摘　　要：以乙酸锌、乙醇胺、九水合硝酸铝为原料,对溶胶凝胶方法制备AZO薄膜的方法进行了改进,利用提拉浸渍法制备薄膜,得到了成膜效果良好的多层AZO透明导电薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、电阻测试装置,研究了Al的掺杂量、退火温度以及薄膜层数等工艺参数对薄膜结构和光电性能的影响。确定了最佳光电性能的AZO薄膜制备方案:Al掺杂浓度1%,退火温度550℃,涂膜层数为15层。

关 键 词：AZO薄膜 溶胶凝胶法 光电性能 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]