中国建材总院重要科技成果展示——等离子体化学气相沉积(PCVD)工艺及成果展示  

作　　者：杜秀蓉 

出　　处：《中国建材》2017年第9期120-123,共4页China Building Materials

摘　　要：超纯石英玻璃简介 超纯石英玻璃是以等离子化学气相沉积（Plasma Chemical Vapor Deposition,简称PCVD）工艺制备石英玻璃,高纯四氯化硅（Si Cl4,纯度99.9999%）为原料,无氢洁净等离子体焰为热源,制得的石英玻璃金属杂质含量小于1ppm,羟基（OH）含量小于5ppm,φ100mm口径内光学不均匀性小于2×10-6。行业中将PCVD工艺制备的石英玻璃称为超纯石英玻璃或者Ⅳ类石英玻璃。

关 键 词：PCVD 石英玻璃 中国建材 金属杂质 四氯化硅 重要科技成果 气相沉积 成果展示 等离子化学 发明专利 

分 类 号：TQ171.731[化学工程—玻璃工业]