具有梯度过渡层的DLC膜空蚀机理研究  

The Cavitation Erosion Resistance of DLC Film with Gradient Transition Layer

作　　者：吕博[1] 张建华[1] 吴行阳[1] Lv Bo Zhang Jianhua Wu Hangyang

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072

出　　处：《计量与测试技术》2017年第10期87-89,91,共4页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文中采用RF-CVD技术辅助于溅射、反应溅射在不锈钢基体表面沉积了纯Ti层及其化合物层的过渡层,然后在表面沉积掺硅与非掺硅类金刚石膜,研究其力学性能与抗空蚀能力。研究结果表明,增强薄膜硬度和弹性模量可以提高薄膜抗空蚀能力,但较大地弹性模量和内应力同样容易引起薄膜表层剥落。由于掺杂硅元素可使类金刚石膜在水环境中化学性质更加不稳定,所以掺杂硅元素会对薄膜抗空蚀性产生不利影响。

关 键 词：射频气相沉积 梯度过渡层 类金刚石膜 抗空蚀性 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]