KLA-Tencor针对7nm以下的lC制造推出五款图案成型控制系统  

出　　处：《中国集成电路》2017年第10期5-6,共2页China lntegrated Circuit

摘　　要：KLA—Tencor公司日前针对7nm以下的逻辑和尖端内存设计节点推出了五款图案成型控制系统，以帮助芯片制造商实现多重曝光技术和EUV光刻所需的严格工艺宽容度。在IC制造厂内，AT一叠对量测系统和SpectraFilmTMF1薄膜量测系统可以针对FinFET、DRAM、3DNAND和其他复杂器件结构的制造提供工艺表征分析和偏移监控。

关 键 词：芯片制造商 控制系统 成型 图案 LC FINFET 量测系统 EUV光刻 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]