纳米级“光学卡尺”  

出　　处：《光学精密机械》2016年第4期35-35,共1页Optics and Fine Mechanics

摘　　要：国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”研制工作在成都启动。未来其将广泛用于微电子集成电路、太阳能电池基片，及大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测。

关 键 词：空间光学系统 纳米级 微电子集成电路 无损检测仪 卡尺 固体激光系统 超光滑表面 太阳能电池 

分 类 号：TH878[机械工程—仪器科学与技术]