云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 超光滑表面

超光滑表面: 作品数：167被引量：573H指数：13; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>; 相关作者：计时鸣李成贵王占山谭云峰赵军更多>>; 相关机构：浙江工业大学哈尔滨工业大学西安工业大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国防基础科研计划广东省自然科学基金更多>>

线性液动压抛光流场的循环交变动压力衍生机制: 《中国机械工程》2023年第19期2288-2295,共8页谢重文东辉成志超孔凡志; 国家自然科学基金(51775509);浙江省自然科学基金重点项目(LZ17E050003)。; 针对线性液动压抛光过程中结构化抛光辊子与抛光工件表面之间形成的周期性流场,研究了该流场中工件表面的动压力作用规律。基于流体动力润滑理论,以楔形槽抛光辊子流场为例推导了工件表面的动压力数学模型,并建立了工件表面动压力随时...; 关键词：线性液动压抛光超光滑表面流场动压力循环交变特性

用于制备具有超光滑表面异质集成4英寸硅基砷化镓薄膜的高效离子剥离技术被引量：1: 《Science China Materials》2023年第1期211-218,共8页孙嘉良林家杰金婷婷池超旦周民 Robert Kudrawiec 李进游天桂欧欣; supported by the National Key R&D Program of China(2017YFE0131300);the National Natural Science Foundation of China(62174167,61874128);the Frontier Science Key Program of CAS(QYZDY-SSW-JSC032);the Key Research Project of Zhejiang Laboratory(2021MD0AC01);the Program of Shanghai Academic Research Leader(19XD1404600);K.C.Wong Education Foundation(GJTD-2019-11);NCBiR within the Polish-China(WPC/130/NIR-Si/2018)。; 在Si衬底上将单晶GaAs薄膜与其进行异质集成有望为硅基光电集成提供新的材料平台.本文基于对GaAs材料剥离机理的分析阐述,优化了GaAs薄膜转移工艺的离子注入条件.结果表明,相比于He离子单独注入,由于较小的热预算和注入后相对更低的缺...; 关键词：剥离技术化学机械抛光异质集成缺陷密度光电集成 GaAs薄膜离子注入表面处理工艺

科学家研制出极低缺陷亚埃级粗糙度石英超光滑表面: 《润滑与密封》2022年第12期82-82,共1页; 中科院大连化学物理研究所化学激光研究中心研究员李刚、研究员金玉奇团队与生物能源化学品研究组合作,以自主合成的新型超细纳米氧化铈(CeO_(2))为抛光浆料,利用化学机械抛光(CMP)技术,加工出极低缺陷亚埃级(<0.1 nm)表面粗糙度的超光...; 关键词：光学表面纳米氧化铈理论认知超光滑表面表面粗糙度加工过程抛光浆料石英表面

光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究: 《制造技术与机床》2022年第6期11-17,共7页付振峰王振忠王彪申冰怡黄雪鹏; 流体动压抛光基于流体剪切效应可实现非接触微去除,可获得粗糙度1 nm以下的超光滑表面,在先进光学及微电子材料加工领域有很好应用前景。基于球体弹性发射加工方式设计流体驱动抛光球,通过Fluent软件对抛光区流场仿真,分析了流体速度以...; 关键词：超光滑表面抛光 Fluent仿真流体动压

面向材料的超精密金刚石切削加工机理被引量：4: 《中国科学：技术科学》2022年第6期854-870,共17页张俊杰张建国闫永达孙涛; 国家自然科学基金(批准号:51405106,51761135106);国防基础科研核科学挑战专题(编号:TZ2018006-0201-02,TZ2018006-0205-02)资助项目。; 采用超精密单点金刚石切削加工技术制备超光滑表面在国防尖端和航空航天等领域具有重要应用.当前缺乏对超精密加工机理的理解,极大地制约着超精密加工技术的提高.金刚石切削加工是一个刀具与材料高度耦合的过程,工件材料的性能对加工结...; 关键词：超精密加工金刚石切削加工机理超光滑表面脆塑转变

SiC晶片超精密化学机械抛光技术被引量：10: 《微纳电子技术》2021年第11期1035-1040,共6页庞龙飞李晓波李婷婷贾军朋; 广东省重点领域研发计划项目(2019B121204006)。; 分析了碳化硅(SiC)材料加工原理与难点,介绍了SiC晶片的精密抛光技术,使用化学机械抛光(CMP)方法对4英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC晶片进行了超精密加工,通过调整抛光液体积流量、抛光头转速、抛光压力以及抛光时间等工艺参数对SiC晶片进...; 关键词：碳化硅(SiC)晶片化学机械抛光(CMP) 超精密抛光表面粗糙度超光滑表面

反射镜基片无损伤清洗技术研究: 《航空精密制造技术》2021年第5期1-3,8,共4页张晋宽白满社滕霖; 本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素。通过改进清洗工艺,制备出了无损伤的超光滑表面。; 关键词：无损伤清洗亚表面损伤超光滑表面反射镜

超光滑表面清洗技术的研究现状: 《陕西国防职教研究》2021年第2期39-41,共3页张娟飞王新海; 陕西国防工业职业技术学院2020年度科研计划项目:激光陀螺腔体深小孔高精度抛光技术的研究(项目编号:Gfy20-05)。; 随着超光滑表面元件在半导体加工行业、航空航天和国防军工领域的广泛应用,超光滑表面的清洗技术的质量与效果显得格外重要。本文介绍了超光滑表面表面的定义,阐述了四种超光滑表面清洗方法,并对其清洗特点、应用和今后发展进行了说明...; 关键词：超光滑表面清洗技术研究现状

光学玻璃超精密抛光加工中材料去除机理研究综述被引量：13: 《中国激光》2021年第4期231-248,共18页蒋小为龙兴武谭中奇; 湖南省研究生教育创新工程和专业能力提升工程项目(CX20200016);国防科技大学自主科研专项项目(ZZKY-YX-07-01)。; 光学玻璃以其优异的物理性能被广泛应用于航天、信息、能源、化工、微电子等领域。随着这些领域的不断发展,传统技术已无法满足日新月异的光学元件超光滑表面加工的要求。为此,需要针对光学玻璃表面的超精密抛光加工展开深入且广泛的研...; 关键词：材料光学玻璃超光滑表面抛光加工材料去除机理

线性液动压抛光加工的流体动压特性研究被引量：8: 《中国机械工程》2020年第8期907-914,共8页郑子军薛凯元文东辉徐耀耀应富强; 国家自然科学基金资助项目(51775509);浙江省自然科学基金资助重点项目(LZ17E050003)。; 基于流体动压润滑原理提出了线性液动压抛光加工方法。借助计算流体力学数值模拟,研究了抛光辊子结构和加工工艺参数对液动压力大小及分布均匀性的作用规律。结果表明:具有矩形微结构的抛光辊子可以在工件表面产生均匀的液动压力;更大...; 关键词：线性液动压抛光超光滑表面液动压力计算流体力学

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