荷兰特温特大开发出与CMOS技术兼容的纯硅光源  

出　　处：《新材料产业》2017年第12期69-70,共2页Advanced Materials Industry

摘　　要：对于硅光子而言，硅基全光集成电路需要光源。目前，混合光源可选用III—V半导体作为光源，但是将III—V半导体光源与硅基电路集成需要复杂的键合工艺、或生长工艺。当前研究人员还开展硅一锗片上光源的研究，通过对锗进行应力一应变工程调控，使其辐射出激光。

关 键 词：半导体光源 CMOS技术 纯硅 兼容 开发 荷兰 光集成电路 键合工艺 

分 类 号：TN912.3[电子电信—通信与信息系统]