叶甜春:对国产半导体设备厂商发展的建议  

出　　处：《电子工业专用设备》2017年第6期79-81,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：半导体设备包括以集成电路材料晶体生长、硅片加工、晶圆制造、封装测试等为主的IC设备；发光二极管衬底材料制备加工、芯片、封测等为主的LED设备；以及以太阳能电池单晶、多晶材料制备、硅片加工、电池片生产设备等为主的PV设备。

关 键 词：半导体设备 太阳能电池 厂商 国产 集成电路材料 硅片加工 材料制备 发光二极管 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]