多晶硅太阳能电池PECVD四层氮化硅减反射膜工艺  

作　　者：韩锦明 

机构地区：[1]海南英利新能源有限公司

出　　处：《电子制作》2017年第24期79-79,87,共2页Practical Electronics

摘　　要：管式PECVD系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器,在低压的情况下,等离子发生器直接在镀膜板间介质的中间发生反应,所用的活性气体为硅烷SiH4和氨气NH3,然后硅原子与氮原子以一定的比例沉积到硅片表面形成一层氮化硅(SixNy)薄膜,起到减反射和钝化的作用,同时对提高多晶硅太阳能电池的光电转换效率起着关键性的作用。文章结合实际测量以156.75×156.75样品规格金刚线电池片为例,制作了四层氮化硅减反射膜,设计的折射率递减的四层膜能更好地起到减反射和钝化的作用,提高了光电转换效率,并对四层膜的抗PID性能进行了实验对比验证,确保后续组件生产的稳定性。

关 键 词：太阳能电池 PECVD 四层膜工艺电池 

分 类 号：TM914.41[电气工程—电力电子与电力传动]