高性能MOS结构高频CV特性测试仪的研制  

作　　者：付强 刘晓为[1] 王蔚[1] 张宇峰[1] 王喜莲[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学航天学院微电子系,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《科技创新导报》2017年第31期148-150,共3页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：高频CV特性测试仪,属于半导体器件特性测量领域。为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题,本测试仪采用高频调制原理抑制低频噪声,采用平方率检波原理实现低失真电容测量。该仪器基于高性能单片机控制,实现独立人机交互和联机测试等多种测量模式。仪器包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块;待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后,输出含有正弦波的信号,信号幅值反应电容值的大小,平方率检波模块输出直流分量,并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中,该值可在人机交互模块上显示,也可以通过USB通讯模块上传至电脑中。

关 键 词：高频CV特性 半导体器件 人机交互 

分 类 号：TN386.1[电子电信—物理电子学]