TFT中底栅Cu膜凸起现象研究  

作　　者：高搏剑 徐佳慧 夏杰 吴登刚 朱元 

机构地区：[1]东华大学信息科学与技术学院,上海200051 [2]南京中电熊猫平板显示科技有限公司,江苏南京210033

出　　处：《信息记录材料》2018年第5期10-11,共2页Information Recording Materials

摘　　要：超高清显示器需要具有低的信号传输层,Cu膜取代Al膜。针对绝缘膜高温下,底栅Cu膜,在玻璃边缘小黑点的现象,通过OM和FIB分析,确认为Cu膜凸起。本文通过实验提出一种H2预处理方式,利用H2的还原性,去除Cu表面氧化物,释放Cu膜内部应力,降低Cu膜凸起的发生率,在实际生产过程中具有应用价值。

关 键 词：薄膜晶体管 铜凸起 绝缘膜 H2预处理 

分 类 号：TN911.7[电子电信—通信与信息系统]