溅镀膜厚控制:高质量光盘溅镀闭环功能  

Layer Thickness Control: A Metallizer Closed-Loop Function for High Quality Optical Media

作　　者：Christian Weindel 顾颖 

机构地区：[1]STEA

出　　处：《记录媒体技术》2005年第2期44-46,共3页China Mediatech

摘　　要：光盘产业的特点是有一个快速增长而又充满活力的 市场。过去几年中,光盘的格式已经发生了很快 的变革,新的格式包括双层DVD+R、HD DVD和蓝光 光盘,把光盘的存储密度的极限推向更高。人们希望光 盘制造设备可以被更新来生产改进的格式和新格式的 光盘。有更高密度和更高速度的格式的光盘往往也要 求其相关的物理参数有更严格的公差。光盘生产设备 的硬件,工艺和软件的解决方案必须使光盘生产有高 的质量、高的成品率、低的生产成本,并且使操作员的 干预最少。因此,一个优秀的生产系统的先决条件是确 保整个生产过程全部在自动控制下完成。要达到这个 目标,关键是把精密的测量工具灵巧地组合到光盘生 产线中去。It is a prerequisite for an excellent production system to ensure, that the whole manufacturing process is fully under automatic control. Precise measurement tools smartly integrated in optical discs production lines are of key importance to achieve these goals. The control of the layer thickness and homogeneity is of significant importance for good disc quality. STEAG HamaTech has developed precise inline measurement of layer thicknesses by ETA-STS sensor.

关 键 词：存储密度 物理参数 制造设备 生产过程 厚度均匀性 生产设备 金属化 激光束 生产系统 分辨率提高 

分 类 号：TQ596[化学工程—精细化工]