EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究  

Research on Calibration Method Key Parameters of EL Infrared Defect Tester

作　　者：张可佳 张碧丰[2] 熊利民[2] 周桃庚[1] 张俊超[2] 孟海凤[2] 蔡川[2] 赫英威[2] 李晓辉 王常世 

机构地区：[1]北京理工大学光电学院光学测量实验室,北京100081 [2]中国计量科学研究院,北京100029

出　　处：《计量学报》2018年第2期246-250,共5页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家863计划(2015AA050303);国家国际科技合作专项(2015DFA60390);中国计量科学研究院自筹基本科研业务费(23-AKY1712)

摘　　要：基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作。基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好。Based on the spatial frequency response（SFR） test method, a calibration device for the critical parameters of the EL infrared defect tester was built.The effects of focusing and position placement on the resolution calibration are analyzed.For the portable and fixed EL tester, the corresponding test methods and operational procedures are given.A test method for portable EL tester is proposed, which can realize the calibration without reference background.Based on the above calibration device, the resolution parameters of various EL testers can be calibrated and the measurement results are reproducible.

关 键 词：计量学 EL红外缺陷测试仪 空间频率响应 分辨率 校准 

分 类 号：TB96[机械工程—光学工程]