数字微纳加工设备  

出　　处：《军民两用技术与产品》2018年第7期42-43,共2页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：技术开发单位 中国科学院光电技术研究所 技术概述 数字微纳加工设备通过数字化控制空间光调制器实现像素级光场自由操控,利用高数值孔径投影物镜生成高分辨率图形,结合高速扫描工件台同步运动,实现大面积、高分辨力,任意微纳图形结构的加工.其由高均匀性照明系统、空间光调制器、高数值孔径物镜、检焦系统、精密扫描工件台,以及高速并行控制系统等部分组成.该项目为《军用技术转民用推广目录（2017年度）》中高端装备领域的重点推荐项目.

关 键 词：加工设备 空间光调制器 高数值孔径 光电技术 高分辨率图形 投影物镜 高速扫描 照明系统 

分 类 号：TN761[电子电信—电路与系统]