移动型检漏仪ASM390和ASM392  

出　　处：《流程工业》2018年第10期54-54,共1页

摘　　要：ASM390和ASM392是用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的泄漏检测解决方案，这些应用需要极短的抽空时间和高灵敏度，这两种型号均符合SemiS2标准。两款检漏仪都装备干式非接触前级真空泵和强大的高真空涡轮分子泵，从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏检测的理想工具。

关 键 词：检漏仪 移动型 泄漏检测 显示器行业 涡轮分子泵 高灵敏度 清洁环境 半导体 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]