日本Hamamatsu公司收购位于美国的Energetiq公司  

作　　者：郑诗颖(翻译) 

出　　处：《现代材料动态》2018年第7期11-12,共2页Information of Advanced Materials

摘　　要：日本Hamamatsu Photonics KK公司宣布就其激光驱动光源和极紫外光源收购马萨诸塞州Woburn的Energetiq Technology公司达成协议。利用高亮度光源，可以快速、更准确地检测半导体晶片的厚度和图案精度等特性。随着半导体设计规则更细化的出现，对超短波长EUV光源的重大需求预计用于支持EUV光刻的检测和计量。

关 键 词：Hamamatsu公司 收购 日本 半导体晶片 美国 紫外光源 马萨诸塞州 EUV光刻 

分 类 号：TN364.2[电子电信—物理电子学]