多晶硅还原炉混合气流量自动控制工艺开发  

Developing automatic control process of feed gas into polysilicon reduction furnace

作　　者：贾曦[1] 梅艳[1] 何大伟 浦晓东 JIA Xi;MEI Yan;HE Da-wei;PU Xiao-dong(Vocational ＆ Technical College,Leshan 61400,China;poration Limited,Leshan 614000,Chin;Leshan 2 Sichuan Xinguang Silicon Technology Co)

机构地区：[1]乐山职业技术学院,四川乐山614000 [2]四川新光硅业科技有限公司,四川乐山614000

出　　处：《化工管理》2018年第22期199-200,共2页Chemical Engineering Management

基　　金：四川省教育厅自然科学基金项目(17ZB0200)

摘　　要：在改良西门子法多晶硅生产工艺中,为减少还原炉混合气流量人工控制的不足,进行了流量自动控制工艺研究。采集手动控制的生产数据,设计了一套自动控制方案,加载到现有的集散控制系统(DCS)中,通过实验炉运行验证,结果表明该方案在生产运行中的稳定性好、可操作性强。In the modified Siemens method for producing poly-silicon,in order to reduce defects of manual control of the feed gas intopoly-silicon reduction furnace, automatic control of the feed gas is studied. （DCS）system.It is run on the experiment furnace, and the resultproves that it’s stable and reliable.

关 键 词：改良西门子法 多晶硅 还原炉 混合气 自动控制 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]