场发射ZrO/W肖特基式场发射阴极研究进展  

作　　者：刘华荣[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第三十八研究所,安徽合肥230088

出　　处：《电子制作》2018年第12期21-23,共3页Practical Electronics

摘　　要：ZrO/W肖特基式场发射阴极具有高亮度、高稳定、长寿命等显著优势,广泛应用于电子束光刻、电子显微镜领域。本文从基本原理出发,系统分析了其主要特点,并对其使用中的注意事项进行了介绍,讨论了其热稳定性和环境适应性。

关 键 词：亮度 ZrO/W 肖特基 

分 类 号：O462[理学—电子物理学]