半导体工艺设备招标文件技术要求的编写方法与技巧  

作　　者：彭兴文 卢丹丹 卜姝 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第二十六研究所 [2]北京安捷工程咨询有限公司

出　　处：《招标采购管理》2018年第8期35-35,38-40,共4页Tendering & Purchasing Management

摘　　要：半导体工艺设备技术要求是该类招标文件的核心编写内容,是招标能否成功的关键。本文针对半导体工艺设备招标技术要求编写不完善、不清晰、不准确,造成中标半导体工艺设备不能完全匹配工艺技术及使用环境要求的现象,对相关要求编写方法进行了研究分析,并结合多年的实践经验,从正式编写招标技术要求前的准备工作、技术要求的构成要素、各要素的关键点、详细技术性能指标的体现形式、关键性技术要求设置、“综合评估法”评标方法的有效利用等方面，提出了编写方法和技巧。

关 键 词：半导体工艺 设备技术 编写内容 招标文件 工艺设备 技巧 综合评估法 设备招标 

分 类 号：F284[经济管理—国民经济]