用于半导体制造工业的超纯水的生产  

出　　处：《水处理信息报导》2002年第4期48-48,共1页

关 键 词：纯水生产 半导体制造工业 超纯水 

分 类 号：TQ085[化学工程] TN305.97[电子电信—物理电子学]