半导体集成电路设备的新发展  

作　　者：蒋迪宝[1] 

机构地区：[1]北京七星华创电子股份有限公司100016

出　　处：《集成电路应用》2002年第6期1-4,共4页Application of IC

关 键 词：半导体集成电路 设备 发展 市场 纳米级 

分 类 号：F407.63[经济管理—产业经济] TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]