电气和电子工程用材料科学  

出　　处：《中国无线电电子学文摘》1994年第4期6-10,共5页

关 键 词：原子力显微镜 中国科学院 电子工程 微结构 多孔硅 半导体 金刚石膜 微观结构 声表面波滤波器 重复性 

分 类 号：TN[电子电信]