深宽比对铜互连线残余应力的影响  

作　　者：王晓冬[1] 

机构地区：[1]中国人民武装警察部队学院基础部,河北廊坊065000

出　　处：《电子制作》2014年第12X期23-24,共2页Practical Electronics

摘　　要：采用ANSYS有限元软件模拟了不同深宽比铜互连线的残余应力分布情况。结果表明,铜互连线表面和侧壁区域的应力随深宽比升高而增加;底部区域的应力在深宽比接近1时达到最小值。

关 键 词：铜互连 深宽比 有限元 残余应力 

分 类 号：TN405.97[电子电信—微电子学与固体电子学]