位置敏感探测器在转角测量中的应用  

Application of position sensitive detector in tilted angle measuement

作　　者：程继伟[1] 巩马理[1] 贾维溥[1] 刘兴占[1] 闫平[1] 张海涛[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084

出　　处：《传感器技术》2002年第10期40-42,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系统可实现 30°二维转角测量 ,分辨力为 30″。The basic principle and characteristics of PSD are presented. 2 D deflection angle measurement system for a novel tip/tilt single mirror laser scanner is discussed using PSD as the key component. Optical filter and signal processing circuit are applied to eliminate environment light noise and dark current. Calibration results demonstrate that this system can reach a wide range 30° of with resolution of 30″.

关 键 词：位置敏感探测器 激光扫描器 转角测量 PSD 位置传感器 

分 类 号：TH824.3[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]