基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅器件的设计  

Design of AWG Demultiplexer with TIR Mirrors Based on SOI Material

作　　者：李柏阳[1] 江晓清[1] 唐衍哲[1] 杨建义[1] 王明华[1] 李铁[2] 吴亚明[2] 王跃林[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程学系,杭州3100272 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室,上海200050

出　　处：《光学学报》2002年第9期1100-1103,共4页Acta Optica Sinica

基　　金：国家重点基础研究发展规划 (G19990 3310 4);教育部高校骨干教师基金资助课题

摘　　要：设计了一种基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅解复用器件。将一全内反射波导镜引入原弯曲的波导列阵中 ,该波导镜具有偏振补偿的功能和缩小器件尺寸的特点。在器件数值模拟的基础上 ,制作了原理性器件 。An arrayed waveguide grating (AWG) demultiplexer with total internal reflection (TIR) mirrors is designed based on silicon-on-insulator (SOI) material. Fabrication technology is developed based on numerical simulation results of the device. The device has function of polarization compensation and characteristic of compact structure. The primary results show that the AWG can realize function of demultiplexing well.

关 键 词：绝缘体 硅材料 设计 密集波分复用 阵列波导光栅 全内反射 光通信 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学] TN929.1