微型机电系统的建模与仿真研究  

Study on modeling and simulation of micro electro mechanical system

作　　者：霍德鸿[1] 梁迎春[1] 程凯[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《机械设计》2002年第10期1-4,共4页Journal of Machine Design

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (50 1 750 1 7) ;哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助项目 (HIT .MD .2 0 0 0 .9)

摘　　要：概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性。提出了MEMS建模与仿真技术的特点 :( 1)多物理场耦合 ;( 2 )材料特性的变化 ;( 3 )依赖快速有效的算法 ;( 4 )原子尺度仿真。分别从器件级仿真、过程仿真和系统级仿真三个层次说明了MEMS仿真的方法。最后结合MEMS建模与仿真技术的发展现状 ,指出了该领域今后的发展趋势。The significance and necessity for developing the study on modeling and simulation of micro electro mechanical system(MEMS) were resumed. The characteristics on modeling and techniques of MEMS simulation have been advanced as: (1)multi-physical field coupling,(2)property variation of material, (3)dependence on rapid and effective algorithm,(4) atomic scaled emulation. The MEMS simulation method was illustrated separately by three layers of device leveled simulation, process simulation and system leveled simulation.

关 键 词：微型机电系统 建模 仿真 

分 类 号：TH－39[机械工程] TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术]