单晶硅辐照退火装置温控系统设计与应用  

作　　者：李普[1] 武文超[1] 葛源[1] 李林洪[1] 蒋波[1] 

机构地区：[1]中国核动力研究设计院,成都610041

出　　处：《山东工业技术》2017年第4期19-19,共1页Journal of Shandong Industrial Technology

摘　　要：本文依据单晶硅辐照退火工艺要求,针对退火装置温度控制的要求,设计一套温度控制系统,采用自适应模糊PID温度控制技术实现高精度的温度自动控制;设计相应的安全联锁电路以保证退火过程的安全性和有效性;通过对升温速率、恒温定值、恒温时间等参数的设置与修改,满足不同的温度控制要求,具有灵活的适用性,可广泛应用于相关的温控工艺中。经过系统调试与运行,调试结果满足使用要求,确保退火装置安全、可靠的运行和任务的完成。

关 键 词：温度控制 PID控制 单晶硅 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]