干法刻蚀技术  

作　　者：翟云华 

机构地区：[1]南京中电熊猫平板显示科技有限公司

出　　处：《名城绘》2017年第11期28-29,共2页

摘　　要：随着TFT-LCD技术的不断革新以及人们对终端产品,如电视、手机、笔记本、掌上电脑、车载等品质的要求越来越高,不断的追求高分辨率、高像素等,在实现以上高品质的过程中,因干法刻蚀良好的高精细加工能力以及较强的制程控制能力,使得干法刻蚀在TFT-LCD制造中的地位,显得越来越重要,本文主要针对干法刻蚀的原理以及工艺管控要点进行说明。

关 键 词：TFT-LCD 干法刻蚀 PLASMA 

分 类 号：TN405.98[电子电信—微电子学与固体电子学]