BM peeling的改善报告  

作　　者：孙超 赵磊 李连峰 何祝可 王显磊 孙逸飞 龚清华 施俊卿 谢颖 

机构地区：[1]南京中电熊猫平板显示科技有限公司

出　　处：《名城绘》2018年第1期141-142,共2页

摘　　要：CF BM peeling就是在制造BM的过程中,由于BM光阻与基板的附着力不够,造成BM大面积缺失的现象。由于BMpeeling会造成基板和材料的浪费,影响产线的产能,BMpeeling改善就是一个急需解决的问题。

关 键 词：BM PEELING 光阻材料 基板 附着力 预烘烤 曝光 显影 

分 类 号：TQ633[化学工程—精细化工]