曝光机高压水银灯成本降低的三种可行性方案  

作　　者：吴祥晟 王雷 达悦 李远林 顾陈颖 王强 

机构地区：[1]南京中电熊猫平板显示科技有限公司

出　　处：《名城绘》2018年第1期305-305,共1页

摘　　要：光刻设备(曝光机)因其单价最贵,精度最高,在TFTLCD工艺中起着举足轻重的作用。其原理是通过照射特定紫外光源,透过掩膜版并在涂有光刻胶的玻璃基板上光刻形成特定的TFT图案。其主要采用高压水银灯作为紫外光源(图1)。曝光灯为一次性消耗品,更换周期短,价格贵,成本花费十分高昂。因此如何能够降低高压水银灯的成本成了最关键的课题。

关 键 词：曝光机 曝光灯 高压水银灯 电流保护 延寿 单效 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]