巴斯夫新建电子级硫酸装置在嘉兴投产  

作　　者：中化新网 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国洗涤用品工业》2018年第7期92-92,共1页China Cleaning Industry

摘　　要：巴斯夫5月30日宣布,位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸装置正式投入运营。该套新装置配备了最先进的技术,将生产最高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

关 键 词：硫酸装置 电子级 巴斯夫 嘉兴 半导体晶片 投产 分析实验室 分析设备 

分 类 号：TQ111.16[化学工程—无机化工]