塑封微电路超声扫描检测的局限性  

Limitations of Ultrasonic Scanning Detection in PEMs

作　　者：李青松 罗向阳 王瑞崧 潘凌宇 张吉 雷鸣 郑丹 LI Qingsong;LUO Xiangyang;WANG Ruisong;PAN Lingyu;ZHANG Ji;LEI Ming;ZHENG Dan(The Fourth Academy Reliability Centre of CASIC, Xiaogan 432000, China;Hubei Sanjiang Space Wanfeng Technology Co., LTD, Xiaogan 432000, China)

机构地区：[1]中国航天科工集团第四研究院可靠性分中心,湖北孝感432000 [2]湖北三江航天万峰科技发展有限公司,湖北孝感432000

出　　处：《电子与封装》2018年第12期8-11,共4页Electronics & Packaging

摘　　要：超声扫描检测技术应用越来越广泛,在半导体器件、材料和生物医学等领域均利用了超声扫描技术。对超声扫描检测技术在塑封微电路中的应用进行了简要介绍,指出了超声扫描检测技术存在的一些局限性,并提出了一些检测改进建议。With the application of C-SAM becoming more and more widely,C-SAM is used in semiconductor,material and Biomedical.The paper gave the limitations of ultrasonic scanning detection in PEMs.And some suggestions were proposed as a reference.

关 键 词：超声扫描 塑封微电路 局限性 

分 类 号：TN305.94[电子电信—物理电子学]