单能、超大发散角及匀流密度离子源  

作　　者：张立新 

机构地区：[1]不详

出　　处：《西安工业大学学报》2018年第6期596-596,共1页Journal of Xi’an Technological University

摘　　要：该成果为一种能够产生单一离子能量的,同时发散角可以根据实际需要进行调节,且在发散角内离子束流密度均匀一致的离子源。主要包括:放电室、离子束引出栅、聚焦磁场、离子能量选择器、能量调节电磁场、扫描磁场、驱动电路及控制系统等。性能指标特点突出,输出束流:大于100mA;功耗:<500W;离子束发散角:0~180°可调;输出能量:20~2000eV可调;能量一致性精度:1%;离子束流均匀性:1%;无故障工作时间大于10000h。离子源输出的离子束发散角可达180°;离子输出能量单一性好;离子束流密度的均匀性好。主要应用于光学薄膜制造及材料研究领域。

关 键 词：离子束流密度 发散角 离子源 无故障工作时间 离子能量 聚焦磁场 输出能量 能量调节 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]