包头稀土研究院多功能真空镀膜设备投入使用  

作　　者：张茂彩 

机构地区：[1]不详

出　　处：《稀土信息》2019年第1期23-23,共1页Rare Earth Information

摘　　要：近日,包头稀土研究院多功能真空镀膜设备通过验收,正式投入使用。该多功能真空镀膜设备是包头稀土研究院功能材料研究所表面工程实验室设计定制的多功能镀膜装置。设备采用了八面体立式结构,设计有八个功能模块安装位置,配有中频溅射孪生平面阴极模块、偏压溅射阴极模块、条状阳极层气体离子源模块、多弧离子阴极模块和加热模块,既可以使用纯金属、合金、陶瓷靶镀制各种功能膜、硬质防护膜和光学膜,也可以制备用于机理研究的纳米级多元素薄膜.

关 键 词：包头稀土研究院 真空镀膜设备 设备投入 多功能 功能模块 实验室设计 中频溅射 镀膜装置 

分 类 号：TG146.45[一般工业技术—材料科学与工程]