真空镀膜设备

作品数：63被引量：22H指数：3
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关于超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备的研究
《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第10期0049-0052,共4页张利坤 李英英 
超薄无胶挠性覆铜板作为柔性电子产品的基础材料,应用广泛。为提升其导电性和耐腐蚀性,表面镀膜处理至关重要。但传统的镀膜设备难以满足其特殊需求,因此超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备应运而生。该设备凭借独特的工艺和技术优势,成为...
关键词：超薄无胶挠性覆铜板 真空镀膜 设备 
真空镀膜设备收放系统用多电机协同控制分析
《电工技术》2024年第18期29-33,共5页刘长林 陆艳君 安辉 田玉宝 邓文宇 齐丽君 安跃军 
辽宁省“揭榜挂帅”科技计划项目(编号2023JH1/11100010)。
为改善真空镀膜设备多电机协同控制系统的稳定性与协同性,将自抗扰控制应用于电机调速控制系统,并与传统PI控制进行对比分析,验证了其较强的抗干扰能力。基于自抗扰控制,针对外界扰动下多台电机间转速同步误差较大问题,提出一种改进型...
关键词：多电机协同控制 收放系统 自抗扰控制 偏差耦合控制 真空镀膜设备 
基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
《真空》2024年第4期6-11,共6页李翔 姜小蛟 战春鸣 刘昂 孙宁 李加平 
辽宁科技重点项目(2023JH1/11200010)。
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以...
关键词：半导体 真空镀膜设备 晶圆加热盘 水冷 回归模型 控温能力 
应用于真空镀膜设备的视窗失效分析及改进方案被引量：1
《装备制造技术》2021年第1期155-158,共4页吕国振 郝伟 王志海 
对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了一种改进方案并应用于实践,取得了显著的改善效果。
关键词：视窗 光电传感器 镀膜材料 透光率 
真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究被引量：2
《真空》2019年第5期69-73,共5页靳朋礼 巩春志 孔营 张鑫 马玉山 刘海波 何涛 岳玲 田修波 
国家自然科学基金(No.11675047,No.11875119,No.51811530059);吴忠仪表有限责任公司协同创新项目(WZYB-XTCX-002)
由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影...
关键词：真空 检漏 酒精 氦质谱检漏仪 
基于PLC的真空镀膜设备自动控制系统设计被引量：5
《机电工程技术》2019年第6期138-141,共4页陈德聪 
可编程序控制器(PLC)是综合了计算机技术和自动控制技术发展而来的一种新型工业控制装置。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了...
关键词：真空镀膜设备 PLC 触摸屏 程序设计 
包头稀土研究院多功能真空镀膜设备投入使用
《稀土信息》2019年第1期23-23,共1页张茂彩 
近日,包头稀土研究院多功能真空镀膜设备通过验收,正式投入使用。该多功能真空镀膜设备是包头稀土研究院功能材料研究所表面工程实验室设计定制的多功能镀膜装置。设备采用了八面体立式结构,设计有八个功能模块安装位置,配有中频溅射孪...
关键词：包头稀土研究院 真空镀膜设备 设备投入 多功能 功能模块 实验室设计 中频溅射 镀膜装置 
会员介绍
《城市燃气》2018年第4期50-52,共3页
承德博冠实业集团有限公司 承德博冠实业集团有限公司成立于2009年3月，员工2700多人，注册资本6653万元，至2016年年底资产总额88413万元；主要产品有智能燃气表、配电柜、自动化控制设备、电器元件产品、矿山机械、真空镀膜设备等。
关键词：自动化控制设备 会员 真空镀膜设备 智能燃气表 资产总额 电器元件 矿山机械 配电柜 
电子束蒸发挖坑效应膜厚均匀性的计算新方法被引量：2
《实验室研究与探索》2018年第3期30-32,41,共4页付学成 张洪波 权雪玲 王凤丹 李进喜 
环形锥面蒸发源模型对沉积膜厚均匀性计算有局限性。针对电子束蒸发镀膜挖坑效应设计一种新的小圆锥体蒸发模型,提出一种新的公式计算沉积膜厚均匀性。采用相同工艺条件,不同时间蒸镀二氧化硅薄膜,验证了小圆锥体模型计算电子束蒸发挖...
关键词：电子束蒸发 挖坑效应 真空镀膜设备 膜厚 
电子束卷绕真空镀膜技术概况被引量：1
《包装前沿》2018年第1期98-100,共3页高德铨 
本文主要介绍了电子束卷绕真空镀膜的工作原理、电子束卷绕真空镀膜设备的主要部件及应用领域。
关键词：真空镀膜技术 电子束 卷绕 真空镀膜设备 工作原理 主要部件 
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