一种柔性薄膜压力传感器  

出　　处：《传感器世界》2019年第2期48-49,共2页Sensor World

摘　　要：一种绝缘膜组合式石英压电传感器及其标定方法,传感器包括上层聚酰亚胺绝缘膜和下层聚酰亚胺绝缘膜之间设置有石英晶片,石英晶片的上下面布设铜箔引线;将石英晶片的负极面和正极面之间串联负载电阻R和示波器,得到压电传感器测量组件;将压电传感器测量组件中的石英晶片的负极面紧贴于靶,靶釆用铝的表面,用于测量靶表面上的冲击波应力σ(t)随时间的变化;由传感器测量的压电信号进行积分,最后得到每一炮实验的传感器动态压电灵敏度系数;取多次实验结果进行平均,得到压电传感器的动态压电系数;本发明具有抗干扰性能强、绝缘性能好、使用方便、制作工艺简单的优点。

关 键 词：压电传感器 石英晶片 绝缘膜 组合式 标定 聚酰亚胺 灵敏度系数 抗干扰性能 

分 类 号：TP212-18[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]